等離子凈化設備在工作時會發生臭氧，由臭氧分化出生態氧，而臭氧是一種*的有效空氣殺菌劑，到達一定濃度時對人體也有害，不僅有臭味，也可能致癌。我國《室內空氣質量標準》規定臭氧的濃度有必要小于0．16mg／m3。由于臭氧的不穩定性，存在時刻很短，因而可以做到既能繼續殺滅細菌、病毒，又使空氣中的臭氧濃度保持在一定水平對人體無害。

 

　　等離子凈化設備處理污染物的原理為：在外加電場的效果下，介質放電發生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反響，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后發生的電子平均能量在10ev ，適當操控反響條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反響變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。