等離子凈化設備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、ji板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。其中，它的凈化作用機理包含兩個方面：

　　一、是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子；

　　二、是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量？OH、？HO2、？O等活性自由基和氧化性較強的O3，與有害氣體分子發(fā)生化學反應，zui終生成無害產(chǎn)物。

　　等離子凈化設備是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術,無需再生處理原料,無需專人負責,不產(chǎn)生二次污染,更換及維護保養(yǎng)方便。